雪花清洗机清洗微芯片

发布时间:2023-10-11
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在微芯片生产中雪花清洗技术用途广泛,二氧化碳雪射流清洁在通过光刻技术生产微芯片的传统中也得到了证明。它用于生产各种应用的磁阻(MR)传感器。cryosnow公司的低温雪花清洗技术用于制造 MR 传感器的三维微芯片,作为传统湿化学清洁的有效且环保的替代方案。这些通常需要使用超纯介质进行昂贵的冲洗过程。CO2雪花清洗技术去除了金属化后在导电路径边缘形成的所谓围栏。然后可以将下一个结构应用于硅晶圆。

由于即使是最小的流体介质残留物也会影响微电子元件的功能或保护涂层的附着力,因此也需要可靠地去除这些残留物。二氧化碳cryoSnow 雪花清洗技术为清洁和提高保护涂层的附着力提供了一种经济、无残留的解决方案。同时,该工艺还可以对粘合和接触区域等特定部分进行选择性处理。

该工艺还为射频识别(RFID)应用的微芯片封装提供了解决方案。在组装之前,半导体通过夹持器放置在一个特殊的弹匣中。在此过程中,机器人产生足够的气流,这可能会导致极轻的碎片从包装中取出。为了防止这种情况,芯片被从包装后部施加的真空压住。为此,必须钻一个小孔,并清除钻孔造成的残留物。二氧化碳雪花清洗装置在这一特定过程中表现出色。

所谓的围栏是由导体路径
上的溅射在边缘的光刻胶中发生化学
反应而产生的,可以使用干CO2有效可靠地
去除二氧化碳雪射流清洁过程表现出色。

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